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用于C4F6?C5F8?COS的检测器 TP-70DGⅡ

特征:

    通过采用含有催化剂的热分解器,实现减少干扰带来的影响
    单触式的传感器更换方式
    搭载新型智能化传感器
    采用易于观察的大型字符LCD
    搭载流量自动调整功能

用途:

    用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS
    用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测
    用于无尘室内的环境监测

产品类别

固定式

类型

智能型检测部

检测对象气体

C4F6/C5F8/COS

检测原理

催化+定电位电解式

检测范围

05ppmC4F6?C5F8
0
15ppmCOS

报警设定值

1st:2ppm/2nd:4ppmC4F6?C5F8
1st
:5ppm/2nd:10ppmCOS

检测方式

泵吸式

报警种类

气体报警/故障报警

报警内容

1st:ALM1指示灯闪烁、或亮灯(红色)
2st
:ALM2指示灯闪烁、或亮灯(红色)

电源

AC100240V±10%

外形尺寸?重量

180(W)×225(H)×285(D)mm(不包含突起部分)
6.0kg

使用时的温湿度范围

2040℃无骤变
40
70%RH(无结露)